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SEM扫描电镜维护保养常识
作者:华仪宏盛
2015年06月10日
 长假期间要怎么安置扫描电镜才合适呢?对于普通的TESCAN钨灯丝扫描电镜(VEGA系列),我们可以正常关闭电镜,需要提醒您,一定要养成抽真空后再关闭电镜的好习惯,这样可以帮助您的电镜更好更长久的使用下去!

  长假期间要怎么安置扫描电镜才合适呢?对于普通的TESCAN钨灯丝扫描电镜(VEGA系列),我们可以正常关闭电镜,需要提醒您,一定要养成抽真空后再关闭电镜的好习惯,这样可以帮助您的电镜更好更长久的使用下去!

  那么场发射扫描电镜该怎么办呢?因为场发射扫描电镜在关机后,重新启动因为需要重新抽真空,做baking,启动灯丝和进行对中等过程,完成这些过程需要几天的时间,所以工程师一般建议用户让场发射扫描电镜处于常开启的状态。长假期间一般都没有人管理设备,一直开着电镜,一旦断电,又没有人在现场的话,就会有故障的隐患,怎么办?您是不是也会有这样的担心呢?

  如果长假期间您都不使用电镜,建议您可以关闭场发射扫描电镜的高压,让设备处于待机(standby)状态,此时既不耗费灯丝,整台设备也将处于最小耗电状态。而且因为每台TESCAN的场发射扫描电镜都配置了IPCU单元,它可以保证即使在断电的状态下,也能保持整个电镜系统内部21天的真空状态,所以您只要让设备处于待机状态,就不需要担心断电!等回来上班后,您只要花费最多一个小时重启高压,就能够继续使用电镜了。不过,要提醒您,如果您的假期比较长,而实验室又确实存在断电隐患的话,超过21天,还是请您的同事帮忙去照看一下。

  现在我们说明一下如何让TESCAN电镜进入待机状态,以及假期后如何从待机状态恢复到正常使用的步骤吧!

  如何进入待机状态:

  1、选择supervisor用户,密码由工程师在装机时提供给用户,以下步骤通用TESCAN所有场发射扫描电镜系列。

  2、打开菜单项SEM àFEG高压控制

  3、在FEG高压电源控制面板中点击断电按钮并确认!之后需要等待分离器,干扰抑制器,灯丝和电子束逐步关闭,这整个过程都是自动的,大约会持续10分钟左右,在关闭过程中请耐心等待,不要对电镜做任何其它操作。

  4、当FEG高压电源控制面板上所有数值都不再变化,电子束面板上发射电流和高压都显示已经关闭,此时高压已关闭。

  5、关闭FEG高压电源控制面板,然后在右下角的真空面板上点击待机按钮并确认。

  6、此时可以关闭显示器,小T提醒您可以在设备桌面上放上合适的提示牌,以避免他人误操作!

  假期后,如何将电镜恢复到正常使用状态:

  7、点击待机按钮,取消待机状态。此时镜筒和样品室真空度不会如图7-1上显示的这么好,取消待机模式后,需要点击抽真空按钮,需要几分钟的时间让镜筒和样品室真空都抽到工作真空,三个进度条的颜色都为绿色时代表达到可操作真空,此时才能进行下一步操作。

  8、再次打开FEG高压电源控制面板(如何打开该面板请见2-1图),点击接通电源并确认,等待约20~30分钟!当数值不再变化,且发射电流和高压数值都出现并稳定了(如图8-2),此时高压已开启。

  9、将高压设置到常用的电压,开始正常使用。

  如您在使用TESCAN仪器的过程有任何疑问,欢迎您联系与我们联系。

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